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產(chǎn)品中心

產(chǎn)品展示太陽能行業(yè)

硅片干法自動裝卸籃機(jī)YTS-103A

該設(shè)備解決了硅片或電池片如何自動的由成疊的形式裝到專用花籃的問題，同時根據(jù)客戶的需要，也可以把裝在花籃里的硅片或電池片自動取出后成疊擺放。
主要可以用于以下工序：擴(kuò)散清洗前裝卸籃，清洗后卸籃，PSG前裝籃卸藍(lán)，PECVD前裝籃

1、自動化：實(shí)現(xiàn)分片自動化、傳動自動化、入藍(lán)自動化
2、低損傷性：可調(diào)節(jié)氣體分片，傳動過程無硬物接觸
3、易操作：設(shè)備簡單易學(xué)，一人同時操作兩臺
4、穩(wěn)定性：主要元器件采用進(jìn)口原件，穩(wěn)定、耐用

試用范圍	半導(dǎo)體晶圓，太陽能硅片、藍(lán)寶石晶片	電源	AC220V±15% 50/60Hz
試用厚度（μm）	≥180μm	功率（Kw）	3KW
		氣壓（MPa）	≥0.4MPa
片盒種類	25片、50片、100片	耗氣量	150L/min
效率（P/h）	2500	用氣規(guī)格	潔凈干燥氣體
破損率	≤0.15%	尺寸（mm）	1200X950X1000
檢測范圍	≥8mm	重量（Kg）	約200KG

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