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產(chǎn)品中心

產(chǎn)品展示半導(dǎo)體行業(yè)

半導(dǎo)體晶圓全自動(dòng)插片機(jī)YTS-100R

設(shè)備概述：

該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體晶圓的清洗、脫膠以及晶圓脫膠之后的自動(dòng)插片入籃，替代傳統(tǒng)的純手工作業(yè)，提高生產(chǎn)效率，減輕工人的勞動(dòng)強(qiáng)度。

技術(shù)特點(diǎn)：

1.自動(dòng)化：實(shí)現(xiàn)上料自動(dòng)化，清洗自動(dòng)化，脫膠自動(dòng)化，插片自動(dòng)化。

2.低損傷性：清洗脫膠插片過(guò)程中均采用柔性接觸，避免對(duì)晶圓造成損傷。

3.易操作：設(shè)備簡(jiǎn)單易學(xué)，一人即可操作。

4.穩(wěn)定性：主要元器件采用進(jìn)口原件，穩(wěn)定，耐用。

5.兼容性強(qiáng)：能夠兼容12寸，8寸等規(guī)格的半導(dǎo)體晶圓。

6.追溯性：可進(jìn)行數(shù)據(jù)追溯，追溯到每棒晶圓對(duì)應(yīng)的花籃。

基本參數(shù)：

1.重量：約3000KG

2.電源要求：三項(xiàng) 交流380V±15％ 50/60Hz

3.氣源要求：兩組單獨(dú)氣路，干燥氣體 0.5-0.6Mpa 進(jìn)氣管管徑不小于12mm

4.設(shè)備功率：約80kw

5.片盒種類(lèi)：25片塑料花籃

6.用水規(guī)格：市政用水